plasma原子團化學反應在多晶硅工業(yè)行業(yè)的應用研究：
        化學反應即原子或原子團層面的重新組合，需要外界提供必要的反應活化能。相對plasma而言，工業(yè)生產的反應物質多呈密集的凝聚態(tài)。參加反應氣體大多是“高濃度”的致密層，使向反應體系持續(xù)傳遞大的激勵能量相當困難，一些需要特大活化能的化學反應在常規(guī)技術條件下很難實現(xiàn)。

       化學與物理學之間聯(lián)系緊密分子中電子運動、原子間相互作用力、原子和分子的受激與電離等微觀形態(tài)，決定了物質的物化性質和化學反應能力。因此應用物理方法使物質的狀態(tài)發(fā)生變化，可導致化學變化或影響化學反應進行。
        為此電場向反應室內的氣體分子直接傳遞能量，產生具有足夠大能量的電子與氣體分子進行非彈性碰撞，將電子的幾乎全部能量傳遞給參加反應的氣體分子，使反應室內氣體產生大量的光子、電子、離子、自由基以及活性原子激發(fā)態(tài)原子和活性分子等為其化學反應提供極活潑的活性粒子，從而使得很多化學反應條件變得溫和提高化學反應效率。
       自然界中物質存在形式有固態(tài)、液態(tài)及氣態(tài)，其中固態(tài)的組成粒子之間的結合致密，液態(tài)次之，氣態(tài)分散。要實現(xiàn)物質在緊密到分散的聚合態(tài)的轉化需要提供額外的能量破壞原粒子間較大的結合能。同理，當物質為氣態(tài)后，繼續(xù)提供能量組成氣體物質粒子發(fā)生電離即形成plasma。