等離子清洗機(jī)原理就是利用等離子的特性使用大量離子、激發(fā)態(tài)分子、自由基等多種活性粒子，作用到固體樣品表面，不但清(除)了表面原有的污染物和雜質(zhì)，而且會(huì)產(chǎn)生刻蝕作用，將樣品表面變粗糙，形成許多微細(xì)坑洼，增大了樣品的比表面。提高固體表面的潤(rùn)濕性能。要外加能量給電子，簡(jiǎn)單的方法就是用平行電極板加一直流電壓，電子在電極中，會(huì)被帶正電的電極所吸引而加速，在加速的過(guò)程中電子可以累積能量，當(dāng)電子的能量達(dá)到某一程度時(shí)，就有能力來(lái)解離中性氣體原子，能產(chǎn)生高密度等離子體的方法有很多種。等離子體在低溫條件下能夠產(chǎn)生非平衡電子、反應(yīng)離子和自由基的特性。等離子體中的高能活性基團(tuán)轟擊表面，會(huì)造成濺射、熱蒸發(fā)或光致降解。等離子體特有的清洗過(guò)程主要是基于等離子體濺射和刻蝕所帶來(lái)的物理和化學(xué)變化。

物理濺射的過(guò)程中，等離子體中高能量離子脈沖式的表面轟擊會(huì)導(dǎo)致表面原子發(fā)生位移，在某些情況下，還會(huì)造成次表層上原子的移位，因此物理濺射沒(méi)有選擇性。在化學(xué)刻蝕的過(guò)程中，等離子體中的活性基團(tuán)和表面原子，分子發(fā)生反應(yīng)，產(chǎn)生的揮發(fā)性物質(zhì)可以通過(guò)泵抽走。在等離子刻蝕過(guò)程中，通過(guò)選擇不同的工藝參數(shù)，可以對(duì)不同材料實(shí)現(xiàn)高選擇性的化學(xué)反應(yīng)刻蝕，然而這種方法對(duì)同一種材料的刻蝕是各向同性的。在離子增強(qiáng)刻蝕中，高能粒子撞擊表面時(shí)，會(huì)在表面形成缺陷、位錯(cuò)或懸浮，這些缺陷提高了表面的化學(xué)反應(yīng)刻蝕速率，使這種刻蝕過(guò)程同時(shí)具備可選擇性和方向性。

在所有的這些清洗過(guò)程中，在碳?xì)浠衔锱c襯底之間的鍵合被削弱，獲得的能量使這些有(機(jī))復(fù)合物從襯底上脫離。一旦脫離有(機(jī))化合物分子基團(tuán)就會(huì)被惰性氣體帶走。等離子體所產(chǎn)生的光輻照、中性粒子流和帶電粒子轟擊為結(jié)合鍵的斷裂提供了能量。這些能量首先被碳?xì)浠衔镂蘸?，在各種形式的二次過(guò)程中又被消耗掉。正是這些各種形式的二次過(guò)程實(shí)現(xiàn)了表面清洗的效(果)。在等離子體中存在大量的紫外線(xiàn)輻照，能量被聚合物吸收后，產(chǎn)生了化學(xué)性質(zhì)很活躍的自由基，這些自由基和容易與等離子體中的氣體發(fā)生(發(fā))生反應(yīng)，產(chǎn)生揮發(fā)性氣體。在等離子體中，快離子與中性粒子碰撞后產(chǎn)生的中性自由基不斷地轟擊樣品表面，以動(dòng)能、振動(dòng)‘解離和激發(fā)態(tài)的模式在中性粒子之間進(jìn)行電荷交換和能量傳遞。運(yùn)動(dòng)動(dòng)能和振動(dòng)動(dòng)能以一種溫和的方式加熱表面，解離和激發(fā)態(tài)產(chǎn)生的自由基以平動(dòng)或振動(dòng)的方式傳遞熱量。如果能量超過(guò)閾值，則可能導(dǎo)致濺射，并伴隨著自由基團(tuán)的產(chǎn)生。處理明(顯)的類(lèi)似于機(jī)械的方法去除表面污染物濺射過(guò)程外，等離子體中的自由基是很重要的去除碳?xì)浠衔锏囊蛩亍?br />