等離子清洗技術在TO導電玻璃上的應用,在更暢通的5G時代，平板顯示器成為我們接收信息的一個重要視覺窗口。ITO導電玻璃作為平板顯示器唯一的透明導電電極材料，在液晶電視、筆記本電腦、平板電腦、智能手機、數碼相機、數碼攝像機等電子商品的生產制造中發(fā)揮其他材料不可替代的作用。

       ITO導電玻璃，是一種既透明又導電的玻璃，采用磁控濺射沉積成膜技術，以氧化銦錫（俗稱ITO）材料作為濺射靶材，在玻璃基板上生成一層很薄的ITO膜。玻璃基板具有重量輕、透明度高、平整度高、機械硬度好、易切割加工等特點，同時具有良好的導電性和透光性，可以切斷對人體有害的電子輻射，紫外線及遠紅外線。廣泛應用于手機屏、PDA、計算器、電子手表、電磁屏蔽、光催化、太陽能電池、生物實驗、各大高校實驗室等新型科技領域。
目前ITO導電玻璃精密表面處理的方法有等離子清洗技術、拋光處理、酸堿處理、氧化劑處理以及在ITO表面增加有機和無機化合物。等離子清洗技術被認為是最有效的處理方式——兼表面平整、清洗有機物和表面活化等功效，降低平均粗糙度，增加表面極性度，提高功函數。
        由于ITO可直接與有機薄膜接觸，所以使得ITO的表面特性如表面有機污染物含量、面電阻、表面粗糙度和功函數等對整個器件性能起著重要作用，改變ITO的表面特性便可影響OLED的性能。等離子清洗技術的作用通常是改變表面粗糙度和提高功函數，利用等離子體可對ITO玻璃表面進行活性處理。
        等離子清洗技術通常在等離子處理設備上，將基片放在底座上，在真空系統(tǒng)中通入不同的混合氣體，并在金屬電極上家射頻電壓將氣體電離，形成等離子體, 以非常快的速度轟擊ITO基片粗糙微小凸起，并清洗表面吸附的環(huán)境氣體、水汽、污物， 使表面清潔、活化。
       從等離子體處理后的ITO表面形貌分析發(fā)現，ITO表面的平均粗糙度和峰谷粗糙度有明顯降低，使薄膜表面變得更加平坦。ITO膜與NPB之間的界面能減少，空穴注人能力大大增強。表面富集了一層帶負電的氧，形成界面偶極層，增加了ITO表面功函數。同時，表面顆粒半徑大大降低，使得ITO與有機層的接觸面增大，表面吸附力增大使ITO薄膜表面的潤濕性能和氧原子吸附性能得到改善，有利于獲得更加均勻的有機薄膜?？偠灾入x子清洗技術后的陽極制備的器件亮度高，質量好，利于增加發(fā)光器件的壽命和穩(wěn)定性。