除了氣體分子、離子和電子之外，在等離子體中還存在中性電性原子或原子團(tuán)，這些原子團(tuán)受到能量激發(fā)態(tài)的激發(fā)，它們是自由基，也是等離子體發(fā)出的光，在這些電性原子間的波長、能量的高低對(duì)等離子體與物體表面的相互作用起著重要作用。
自由基如原子團(tuán)與物體表面反應(yīng)。
      離子體中的自由基電性強(qiáng)，存在時(shí)間長，比離子體多。在等離子體中，自由基是揮發(fā)性很強(qiáng)的，它的作用主要是在化學(xué)反應(yīng)過程中能量傳遞的活(化)，在激發(fā)態(tài)下自由基能量很高，易于與物體表面的分子結(jié)合，形成新的自由基。此外，當(dāng)自由基與物體表面分子結(jié)合時(shí)，會(huì)釋放大量的結(jié)合能量，這將產(chǎn)生新的表面反應(yīng)推動(dòng)力，從而消(除)物體表面物質(zhì)之間的化學(xué)反應(yīng)。

電子與物體表面的作用
      由于電子與物體表面的碰撞，會(huì)促使吸附在表面的氣體分子分解解吸，而電子的大量碰撞則有利于產(chǎn)生化學(xué)反應(yīng)。因?yàn)殡娮淤|(zhì)量很小，所以比離子的移動(dòng)速度要快得多，在等離子體處理過程中，電子比離子早到達(dá)物體表面，使表面產(chǎn)生負(fù)電荷，有利于引起進(jìn)一步的反應(yīng)。
離子與物體表面的作用
      通常指帶正電荷的陽離子的作用，它會(huì)加速?zèng)_入帶負(fù)電荷的表面，這就是我們所說的，使物體表面獲得相當(dāng)大的動(dòng)能，以撞擊除去表面附著的顆粒狀物質(zhì)，這種現(xiàn)象叫做濺射，而且通過離子的沖擊力，物體表面發(fā)生化學(xué)反應(yīng)的幾率會(huì)大大增加。
紫外性與物體表面的反應(yīng)
      UV具有很強(qiáng)的光能量，能夠破壞和分解附在物體表面的分子鍵。此外，紫外線具有很強(qiáng)的滲透性，可以通過物體表面深度達(dá)到幾微米。總之，等離子清洗是利用等離子體內(nèi)各種高能物質(zhì)及活(化)作用，將附著于物體表面的污垢徹底剝離除去。