工業(yè)量產(chǎn)型真空等離子清洗機連續(xù)運行的時間常常會在八個小時以上，在這種情況下，真空等離子清洗機的真空反應腔室內(nèi)的所有部件，包括反應腔本體、電極板、托架以及附件等表面溫度比較高，如果沒有相關配套的冷卻循環(huán)系統(tǒng)，取放產(chǎn)品或材料不帶隔熱手套容易被燙(傷);同時處理環(huán)境溫度過高，對于一些不耐溫的產(chǎn)品或材料，就會引發(fā)物理形變、表面變色或燒焦等現(xiàn)象，甚致影響等離子處理效(果)。那么真空等離子清洗機處理產(chǎn)品的散熱問題如何解決呢?
一、真空等離子清洗機的放電原理和熱的形成
　　1. 從真空等離子清洗機的反應機制來看，等離子放電的環(huán)境是在一個密閉的腔室里面，而且要維持一定的真空度，這是關鍵!氣體在低氣壓狀態(tài)下，分子間的距離會比較大，相互之間的作用力就比較脆弱;當有電場、磁場等外來能量加速種子電子去碰撞氣體分子時，等離子體就形成了。
　　2. 等離子體是由電子、離子、自由基、激發(fā)態(tài)分子和原子、基態(tài)分子和光子等組成，表面上看呈電中性，其實內(nèi)部具有很強的電特性、化學特性和熱效應。
　　3. 真空等離子清洗機產(chǎn)生的等離子體屬于非平衡等離子體，氣體溫度遠遠低于電子溫度，而且電子質量小到可以忽略不計;即便如此，電子溫度也是上萬度，這樣的話，在等離子產(chǎn)生和滅失的過程中，通過碰撞、輻射和接合等就會形成大量的熱，很少的一部分被真空泵抽走，大部分還是留在真空反應腔室內(nèi)。

二、真空等離子清洗機處理產(chǎn)品或材料的反應機制
　　真空等離子清洗機處理產(chǎn)品是在低壓反應腔室里面進行的，基本操作流程把需要處理的物件放在托架或者是電極上面，關上反應腔體室的門;然后抽真空致設定的背底真空值，通入相應的工藝氣體并維持真空度在20-100Pa范圍;接下來啟動電源形成等離子體與產(chǎn)品或材料進行物理或化學反應，包括等離子清洗、等離子活(化)、等離子刻蝕和等離子聚合等;等整個反應完成后，通入壓縮空氣或氮氣，進行破空，取出物件。